发表时间：2021-12-21 责任编辑：admin
一、分析方法概述：
所谓气体纯度往往指100%浓度附近的高纯气体，高纯气体纯度分析一般来讲有直接测量法和间接测量法。
1、直接测量法：直接分析检测气体纯度
2、间接测量法：没有物理意义上的100%，纯度再高的气体也会含有微量杂质，通过分析杂质含量来反推气体纯度
二、高纯气体分析仪选型原则：
从分析角度讲，微量分析比常量分析要求高。也就是说，气体中的杂质含量必须低于被分析组分的含量，例如99.999%纯度的气体则含0.001%的杂质，相当于10ppm。
1、间接测量法：
一般工业用气体纯度为99.99或99.999%，常见工业气体如氮气、氩气、氦气、一氧化碳、二氧化碳等，都可以通过间接测量法进行纯度分析，通过分析检测气体中微量氧气及水分（露点），即可检测出气体的纯度
2、直接测量法：
不同气体其物理性质化学性质不同，检测方法多样。如氢气、氩气、氦气等气体即可使用直接测量法（热导原理）进行纯度分析，也可使用间接测量法（微量氧及水露点）进行纯度分析。工业用高纯氧检测方法同上，即可使用直接检测法也可使用间接测量法，高纯氧直接测量法可用离子流原理进行分析纯度，间接测量法可通过分析水分（露点）检测纯度，但不能检测其微量氧，因为气体中的杂质含量必须低于被分析组分的含量。
3、仪表选型参考：
